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不平凡的釩靶HiPIMS（放電區(qū)直徑約３０ｍｍ放電電流達(dá)１４０Ａ）
金屬釩（V）作為一種高熔點(diǎn)的稀有金屬材料，常與鈮、鉭、鎢、鉬并稱(chēng)為難熔金屬。金屬釩具有耐鹽酸和硫酸的性能，并且耐氣-鹽-水腐蝕的性能要比大多數(shù)不銹鋼好。在某些特殊的重要場(chǎng)合，金屬V薄膜常被用來(lái)作為高溫隔離防護(hù)涂層，因此開(kāi)展V靶HIPIMS放電特性方面的研究工作具有重要的意義。
6種靶材HiPIMS放電大不相同，設(shè)計(jì)工藝要知道!
HiPIMS放電，由于工作在放電曲線(xiàn)的特殊區(qū)域，其放電特性不僅依賴(lài)于使用的氣壓、電壓，更依賴(lài)于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脈沖工作，其放電特性具有時(shí)間特征，而表現(xiàn)出不同的放電特性。這里我們選用常用的幾種靶材（Cu，Cr，Mo，Ti，V和C），給出了他們的放電特性。這種與時(shí)間相關(guān)的放電特性，對(duì)于工藝設(shè)計(jì)是非常重要的。
雙脈沖HiPIMS比傳統(tǒng)HiPIMS沉積速率提高近3倍
一種新型的高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術(shù)，即放電由脈寬短、電壓高的引燃脈沖和脈寬長(zhǎng)、電壓低的工作脈沖2部分組成的雙脈沖高功率脈沖磁控濺射技術(shù)，目的是解決傳統(tǒng)高功率脈沖磁控濺射沉積速率低的問(wèn)題。
HiPIMS中不同脈沖波形制備氧化鈮薄膜
在Nb靶氧反應(yīng)濺射時(shí)，用合適的HiPIMS脈沖波形可以抑制進(jìn)氣遲滯回線(xiàn)，在沒(méi)有氣體控制器下同樣能保證工藝穩(wěn)定性。
真空弧放電下不同尋常的陰極腐蝕圖案
對(duì)于真空弧放電下的弧斑導(dǎo)致的陰極材料的腐蝕研究其實(shí)由來(lái)已久。對(duì)于真空弧放電下的弧斑主要有兩種，一種是移動(dòng)較快、較小、較暗的弧斑，主要發(fā)生在較臟的靶面和氧化的靶面；另一種是移動(dòng)較慢、較大較亮的弧斑，其主要發(fā)生在干凈和惰性氣體放電時(shí)的靶面。
DLC涂層 - 汽車(chē)雨刮器的“便衣”
雨刮器是汽車(chē)的重要裝置，對(duì)于安全行車(chē)具有至關(guān)重要的作用。
好的雨刮器必須具備耐熱、耐寒、耐酸堿、抗腐蝕、能貼合擋風(fēng)玻璃、減輕馬達(dá)負(fù)擔(dān)、低噪音、撥水性強(qiáng)、質(zhì)軟不刮傷擋風(fēng)玻璃等特點(diǎn)，能使你視野清晰。
多孔陶瓷材料的等離子體滲透性研究
氧化鋅（ZnO）作為一種高帶隙半導(dǎo)體，以其出色的化學(xué)穩(wěn)定性和生物相容性廣泛應(yīng)用于氣體傳感和催化等領(lǐng)域，尤其是具有三維多孔骨架結(jié)構(gòu)的t-ZnO。通過(guò)控制t‐ZnO的晶體形態(tài)和缺陷結(jié)構(gòu)，可以適應(yīng)不同的應(yīng)用，其中就包括對(duì)氧化鋅進(jìn)行等離子體表面改性處理來(lái)改善其電導(dǎo)率等性能。為了將三維多孔t‐ZnO的優(yōu)點(diǎn)與等離子體表面改性相結(jié)合，必須讓等離子體穿透到多孔骨架結(jié)構(gòu)中。由于高能等離子體會(huì)導(dǎo)致聚合物表面C-C和C-H鍵的解離并使C自由基位點(diǎn)上附著新的原子或基團(tuán)，