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高能弧優(yōu)勢

增強(qiáng)了電子發(fā)射,進(jìn)而獲得高的等離子體密度,離化率高、沉積速率高,這將有助于增加膜層致密性、降低膜層應(yīng)力;可低溫沉積,降低工件的熱應(yīng)力,提高工件的壽命;


可抑制陰極弧靶中毒、改善膜層結(jié)構(gòu)、控制膜層顆粒污染;增加電弧穩(wěn)定性和提高靶材利用率;


新鉑新型脈沖陰極弧電源,實現(xiàn)了脈沖增強(qiáng)電子發(fā)射以提高真空室內(nèi)等離子體密度。該電源核心由脈沖發(fā)射和維持電流系統(tǒng)構(gòu)成,由單片機(jī)和觸摸屏系統(tǒng)協(xié)同控制和管理,具有滅弧檢測、自動重啟,過流保護(hù)、過熱控制和故障檢測功能


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